晶圓精密微針測(cè)試機(jī)

●設(shè)備用于6-12寸晶圓測(cè)試平臺(tái)

●硬件組成：PC+運(yùn)動(dòng)板卡控制；軟件:視覺(jué)定位系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)、測(cè)量系統(tǒng)、產(chǎn)品供電系統(tǒng)構(gòu)成。

●通過(guò)雙相機(jī)識(shí)別MARK點(diǎn)微調(diào)對(duì)位。

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